基板分割装置的制作方法

文档序号:19186365发布日期:2019-11-20 01:32
基板分割装置的制作方法

本发明涉及由脆性材料构成的基板的基板分割装置。本发明特别涉及沿着形成在基板上的多条刻划线(刻划槽)将基板分割成条状或网格状的基板分割装置。



背景技术:

通常,在从母基板切出单元基板的工序中,采用使用刀轮、激光的分割方法。在这种情况下,在母基板的分割预定位置,用刀轮、激光呈网格状加工相互交叉的刻划线,之后通过分割装置沿着刻划线对基板进行分割而切出单元基板。

作为对基板进行分割的手段,有如专利文献1、2所示那样通过从形成了刻划线的相反侧的面按压切断杆而使基板弯曲来分割的方法、如专利文献3、4所示那样通过倾动工作台将基板弯曲并沿着刻划线进行分割的方法。

在使用了倾动工作台的分割方法中,倾动工作台和吸附并保持基板的固定工作台空出间隙而邻接地设置,倾动工作台以在靠近固定工作台侧的端部下表面通过旋转轴向下方倾动的方式形成。并且,通过在使刻划线位于固定工作台与倾动工作台的间隙的状态下使基板吸附并保持在两个工作台的上表面,并使倾动工作台倾斜,从而向基板施加弯曲力矩而沿着刻划线进行分割。

使用了该倾动工作台的分割方法具有如下优点:通过工作台的倾动而向基板施加弯曲力矩,并且与固定工作台邻接的倾动工作台的顶端部相对于邻接的固定工作台向分离的方向位移,由此被分割的基板的端面彼此被拉开,因此能够消除由于基板相互接触而造成的损伤。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开2017-128137号公报;

专利文献2:日本特开2014-083821号公报;

专利文献3:日本特开平4-280828号公报;

专利文献4:日本特开2017-177453号公报。

发明要解决的课题

通常,作为分割加工对象基板,有由玻璃、硅、氧化铝、陶瓷等的物理强度各不相同的脆性材料形成的仅1片的单板、将2片基板进行贴合的贴合基板、或者将由不同材料构成的薄板贴合在玻璃基板的两个面的3层结构的层叠基板等各种各样的类型,各自的厚度在例如玻璃单板的情况下为0.1mm到5mm以上。因此,存在由于基板的类型而仅施加弯曲力矩不能分割的基板,有时需要在施加弯曲力矩的同时施加拉力、或者在上下方向上施加剪切力。

但是,由于以往的倾动工作台是通过旋转轴而仅倾动的结构,因此在对上述的各种各样的基板进行分割的方面存在限制。



技术实现要素:

因此,本发明的目的在于提供一种能够解决这种现有技术问题、具有能够应对各种各样的基板来进行分割的倾动工作台的基板分割装置。

用于解决课题的方案

为了达到上述目的,本发明采取如下这样的技术手段。即,本发明提供采用以下结构的基板分割装置,其沿着在由脆性材料构成的基板的表面形成的刻划线对所述基板进行分割,其中,所述基板分割装置具有固定工作台和倾动工作台,所述固定工作台和倾动工作台分别具有保持基板的基板保持面,并且以这些基板保持面形成同一水平面的方式空出间隔而邻接,所述倾动工作台具有:倾动机构,其将所述倾动工作台的与所述固定工作台邻接的一端部形成的旋转轴作为支点而使该倾动工作台倾动;水平移动机构,其以在水平方向上与所述固定工作台背离的方式使所述倾动工作台移动;以及升降机构,其使所述倾动工作台升降。

发明效果

由于本发明采用了上述结构,因此在基板分割时,能够使倾动工作台向上方或者下方倾斜并施加弯曲力矩而进行分割,使倾动工作台向上方或下方升降并利用剪切力而进行分割,或者使倾动工作台在倾动的同时在上下方向或者水平方向上移动并在施加弯曲力矩的同时施加剪切力或施加拉力而进行分割。由此,能够与厚度、材料、层叠结构不同的各种类型的基板对应地选择并实施最优选的分割方法。

此外,由于倾动工作台以能够在水平方向上移动的方式形成,因此能够在基板分割后将分割了的基板载置在倾动工作台的状态下向外部搬出,由此具有能够省略用于将分割了的基板向外部搬出的输送机等的搬出单元这样的效果。

在本发明中,所述倾动机构可以具有:支承臂,其通过所述旋转轴可旋转地支承所述倾动工作台;以及液压缸,其与所述倾动工作台的另一端部下表面连接,并以所述旋转轴为支点而使所述倾动工作台上下摆动。

由此,能够以旋转轴为支点而使倾动工作台摆动位移为向上或者向下的倾斜姿势。

在本发明中,可以采用如下结构:所述水平移动机构具有:行驶构件,其对所述支承臂和所述液压缸进行保持;以及台板,其通过第一导轨而在水平方向上可移动地保持所述行驶构件,所述第一导轨向所述倾动工作台背离所述固定工作台的方向延伸而形成,所述行驶构件以通过驱动机构而行驶的方式形成。

由此,能够使被行驶构件保持的倾动工作台向从固定工作台拉开的位置移动。

在本发明中,可以采用如下结构:所述升降机构具有:支柱,其可升降地保持所述台板;滑轮,其设置在所述台板的下表面;滑动构件,其具有承接该滑轮的倾斜承接面;以及底座,其通过第二导轨而在水平方向上可滑动地保持所述滑动构件,所述第二导轨向所述倾动工作台背离所述固定工作台的方向延伸而形成,所述倾斜承接面的倾斜方向沿着所述第二导轨的方向而形成,所述滑动构件以通过驱动机构而滑动的方式形成。

由此,能够使被台板保持的倾动工作台相对于固定工作台上移或者下移。

附图说明

图1为表示本发明的基板分割装置的侧视图。

图2为图1所示的基板分割装置的后视图。

图3为表示本发明的倾动工作台的倾动状态的侧视图。

图4为表示本发明的倾动工作台的向水平方向的移动状态的侧视图。

图5为表示本发明的倾动工作台的升降状态的侧视图。

图6为表示本发明的基板分割装置中的倾动工作台的工作的说明图。

具体实施方式

在以下,基于图1~图5示出的实施例对本发明的基板分割装置的细节进行说明。

本发明的基板分割装置包含具有对由脆性材料构成的基板w进行保持的基板保持面1a、2a的固定工作台1以及倾动工作台2。这两个工作台1、2以基板保持面1a、2a形成同一水平面的方式空开间隔而邻接地设置。基板保持面1a、2a以如下方式形成:在本实施例中,在工作台1、2的表面设置多个吸孔(未图示),通过吸入空气能够吸附并保持基板w。

倾动工作台2在与固定工作台1邻接的一端侧的下表面通过旋转轴3可旋转地保持在支承臂4,在另一端侧的下表面通过枢轴6与沿着上下方向配置的液压缸5的轴5a的顶端连接。支承臂4在其下端部固定于行驶构件7,液压缸5还通过枢轴5b可位移地保持在行驶构件7。

通过上述的结构,形成了能够使倾动工作台2倾动的倾动机构。即,通过驱动液压缸5而使轴5a上下移动,从而能够将旋转轴3作为支点使倾动工作台2摆动,成为如图6的(a)、(b)所示那样的向上或者向下的倾斜姿势。

进而,上述的行驶构件7以通过导轨8能够在水平方向上移动的方式保持在台板9。导轨8沿着倾动工作台2背离固定工作台1的方向延伸而形成,行驶构件7以通过驱动机构(未图示)能够行驶的方式形成。

通过该结构形成了倾动工作台2的水平移动机构。在此,通过使行驶构件7沿着导轨8移动,能够如图6(e)所示那样使倾动工作台2向从固定工作台1拉开的方向移动。

此外,上述的台板9在其中间部的左右通过引导件10a可升降地支承在支柱10。进而,在台板9的下表面,在其前后和左右设置有滑轮11,滑轮11通过设置在滑动构件12的倾斜承接面13而被阻挡。滑动构件12可滑动地保持在底座14的导轨15,能够通过驱动机构(未图示)而移动。导轨15沿着倾动工作台2背离固定工作台1的方向而形成,倾斜承接面13的倾斜方向沿着导轨15的延伸方向而形成。另外,在图1中以倾斜承接面13的左侧成为倾斜的较高位置的方式示出,但也可以是其相反的方式。

通过该结构,形成了倾动工作台2的升降机构。在此,通过使滑动构件12沿着导轨15移动,从而倾斜承接面13也随之移动,使台板9的滑轮11如图5所示那样提升到倾斜承接面13的倾斜的较高位置侧,或者下降到倾斜的较低位置侧。由此,能够使保持在台板9的倾动工作台2相对于固定工作台1上移或者下移(参照图5和图6的(c)、(d))。

在用上述的基板分割装置来分割基板w时,在使由前工序加工的刻划线s位于倾动工作台2和固定工作台1的间隔内的状态下使基板w被两个工作台1、2吸附并保持。能够在该状态下使倾动工作台2如图6(a)、(b)那样向上方或者下方倾斜并施加弯曲力矩来分割,或者如图6(c)、(d)那样使倾动工作台2向上方或者下方升降并利用剪切力来分割。此外,能够根据基板的种类,使倾动工作台2在倾动的同时通过升降机构在上下方向上移动,或者通过水平移动机构使倾动工作台在水平方向上移动,从而在施加弯曲力矩的同时施加剪切力或施加拉力而有效地进行分割。

此外,由于倾动工作台2能够沿着水平移动机构的导轨8在水平方向上移动,因此能够在将分割后的基板w载置于倾动工作台2的状态下向外部搬出。由此,能够省略用于将分割了的基板向外部搬出的输送机等的搬出单元。

另外,在使倾动工作台2倾动来分割基板w时,如图3所示,倾动工作台2的与固定工作台1邻接的顶端部通过以旋转轴3为中心的旋转而相对于固定工作台1向上方或下方位移,因此分割了的基板w的端面彼此被拉开,能够防止由于基板彼此的接触而造成的端面的损伤。

以上,对本发明的代表性的实施例进行了说明,但本发明不一定限定于上述的实施方式,在达到本发明的目的且不脱离专利请求的范围内能够进行适当修改及变更。

产业上的可利用性

本发明能够用于将由脆性材料构成的基板沿着刻划线进行分割的基板分割装置。

附图标记说明

s:刻划线;

w:基板;

1:固定工作台;

1a:基板保持面;

2:倾动工作台;

2a:基板保持面;

3:旋转轴;

4:支承臂;

5:液压缸;

5a:轴;

6:枢轴;

7:行驶构件;

8:导轨;

9:台板;

10:支柱;

11:滑轮;

12:滑动构件;

13:倾斜承接面;

14:底座;

15:导轨。

再多了解一些
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